ㅤㅤ随着电子技术的不断发展，对于纳米级精密微小的微电子器件，想要去测试它在低温环境或者变温环境下的电学性能（如电流、电压、阻抗等）时，一台配有显微镜的低温探针台便是能够提供良好低温电测环境的理想工具。其中，PSM-4K系列闭循环低温探针台更是各大实验室的热门选择，它能够通过闭循环制冷机制冷，并通过温控仪的PID闭环回路精确控温，帮助实验室极低温电学测试获得精确又理想的数据结果。
ㅤㅤPSM-4K系列闭循环低温探针台具有优秀的性能，其紧凑型以及低振动的设计，能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个小于5K-350K高低温真空测试环境。通过外接不同的电学测量仪器，可完成材料或器件的IV、CV、光学以及微波等参数检测，实现低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。因此在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。
二、PSM-4K系列闭循环低温探针台有哪些特点
• 采用闭循环制冷，无需消耗液氨，最低温度4.5K
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试
• 独特的探针臂X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性
• 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA@1V@4.5K-350K
• 测试温度范围宽，最大支持4.5K-350K连续变温
三、PSM-4K系列闭循环低温探针台由哪些系统组成
1.样品座
• 镀金无氧铜样品座
• 表面有沟槽，防止样品滑动
• 最大可容纳4英寸样品
• 安装温度传感器和加热器
2.探针臂
• 标配四个探针臂
• 可以进行X-Y-Z-R四维移动
• 三同轴接头，漏电小
• 安装传感器，可时刻监测温度
3.真空外罩&防辐射屏
• 采用0圈和KF法兰密封
• 极限真空度能够达到5E-4 mbar
• 防辐射屏安装温度传感器和加热器
4.制冷机
• 4KG-M制冷机
• 最低温度可达3.5K
5.光学系统
• 显微镜的放大倍数是10-180倍
• 工作距离90-100mm
• 分辨率3μm
• 兼配同轴光源和环形光源,保证各种样品的清晰度
• 显示器有录像、拍照、测量功能
6.温度控制系统
• 闭环PID温度控制
• 可调节加热器输出,最大加热功率100W
7.特殊减振装置
• 振动小于1μm
• 有效的隔离了制冷机电机和冷头产生的振动
• 结构紧凑避免使用吊装支架
8.底座和支架
• 放置于地面使用,无需光学平台
• 带有滚轮,可以移动
• 脚垫高度可调
